Clean Track Lithius ProZ
TEL (Tokyo Electron) — Yarı İletken Çökeltme
Protokol
Modbus TCP
Veri Noktası
2
Kurulum
10 dakika
Port
502
Genel Bakış
TEL (Tokyo Electron) Clean Track Lithius ProZ, Modbus TCP protokolü üzerinden 2 veri noktasını gerçek zamanlı izler.